微导纳米公告,公司拟向不特定对象发行可转换公司债券的募集资金总额不超过11.7亿元。扣除发行费用后,将全部投资于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目、研发实验室扩建项目以及补充流动资金。半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目主要生产半导体领域 iTomic 系列和 iTronix系列产品,其涉及原子层沉积和化学气相沉积两大类设备。
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